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特種氣體輸送系統(tǒng)的配置

發(fā)布時間:2022-04-27 | 游覽:3558

內(nèi)容摘要:在現(xiàn)代半導(dǎo)體、科研實驗室、綜合廠房的集中供氣系統(tǒng)中,氣瓶柜、氣瓶架已經(jīng)成為鋼瓶工藝氣體的配套性裝置。

在現(xiàn)代半導(dǎo)體、科研實驗室、綜合廠房的集中供氣系統(tǒng)中,氣瓶柜、氣瓶架已經(jīng)成為鋼瓶工藝氣體的配套性裝置。大多數(shù)特殊性氣體,如有毒性、易燃易爆性、自然性氣體多放置在特氣柜內(nèi),大宗普通惰性氣體使用氣瓶架一般就可以滿足用戶需求。那么易燃易爆特氣柜(GC)和毒性、腐蝕性特氣柜的配置一樣嗎?在設(shè)計初期有什么區(qū)別和注意事項,我們可以在項目建設(shè)初期合理規(guī)劃布局,從而安全使用。

特氣系統(tǒng)的硬件配置需求:

GC、GR可采用單工藝氣瓶外置吹掃氮氣(源)瓶(單瓶式)、雙工藝氣瓶外置吹掃氮氣、雙工藝氣瓶內(nèi)置吹掃氮氣等多種結(jié)構(gòu)配置。GC、GR 應(yīng)設(shè)置作業(yè)用氣體面板。系統(tǒng)的供應(yīng)能力應(yīng)經(jīng)過熱力學(xué)和流體力學(xué)計算核實。氣瓶柜閉門時應(yīng)保持不低于100Pa負(fù)壓,柜內(nèi)的排風(fēng)換氣次數(shù)不得低于300次/H 。GC板材厚度不得低于2.5mm,并有放腐蝕涂層。GC門應(yīng)具備自動關(guān)閉功能,并配備防爆玻璃觀察窗,地腳螺栓設(shè)計應(yīng)滿足當(dāng)?shù)氐卣鹪O(shè)防烈度的要求。

另外,結(jié)合不同氣體的不同性質(zhì),不相容氣體瓶嚴(yán)禁放置于同一氣瓶柜或氣瓶架中。自然性、可燃性、毒性、腐蝕性氣瓶柜應(yīng)在排風(fēng)出口設(shè)置氣體泄露偵測器。GC、GR應(yīng)設(shè)置清晰明確的安全標(biāo)識牌。我們做好規(guī)范相應(yīng)的要求,才能確保用氣的萬無一失,給業(yè)主最大限度的安全保障。

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